|
Книга ID: 26007
Исследование влияния редкоземельной примеси на процесс эпитаксиального роста и свойства эпитаксиальных слоев CaSb и CaAs : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 05.27.06 Моск. ин-т тонкой хим. технологии
Тематика, ключевые слова:
Технология полупроводников и материалов электронной техники.
Сведения об издании:
Москва 1992 26 с.
Язык:
rus
|
|