|
Книга ID: 2596865
Процессы формирования толстопленочных ВТСП элементов : диссертация ... кандидата технических наук : 02.00.04
Тематика, ключевые слова:
Электроника. Электронные приборы -- Криоэлектроника -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Методы исследований. Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение пленочных покрытий -- Методы исследований.
Сведения об издании:
Йошкар-Ола 2005 141 с.
Язык:
rus
|
|