|
Книга ID: 25955
Исследование влияния параметров реактивного магнетронного распыления на электронные свойства аморфного гидрированного Si, Ge и сплавов на их основе : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Рос. АН Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Санкт-Петербург 1993 18 с.
Язык:
rus
|
|