|
Книга ID: 25753
Исследование влияния конструкции установки и параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13 Физ.-техн. ин-т
Тематика, ключевые слова:
Системы и устройства радиотехники и связи.
Сведения об издании:
Москва 1996 18 с.
Язык:
rus
|
|