|
Книга ID: 257136
Дефектообразование и технологии создания кремниевых подложек для интегральных схем вычислительной техники : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.13.05
Тематика, ключевые слова:
Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления.
Сведения об издании:
Санкт-Петербург 1999 75 с.
Язык:
rus
|
|