|
Книга ID: 25666
Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 Ин-т физики полупроводников
Тематика, ключевые слова:
Физика твердого тела.
Сведения об издании:
Новосибирск 1994 16 с.
Язык:
rus
|
|