|
Книга ID: 255566
Ионный имплантер на средние энергии для технологических целей : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.20
Тематика, ключевые слова:
Физика пучков заряженных частиц и ускорительная техника.
Сведения об издании:
Новосибирск 1999 112 с.
Язык:
rus
|
|