|
Книга ID: 2550554
Развитие физико-технологических основ метода пиролитического синтеза с применением донорно-акцепторных комплексов для эпитаксиального наращивания широкозонных нитридов на сапфире : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06
Тематика, ключевые слова:
Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы -- Твердые растворы -- Получение -- Выбор технологического варианта.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
Сведения об издании:
Москва 2005
389 с.
Язык:
rus
|
|
