|
Книга ID: 2498738
Совершенствование создания тонкоплёночных микроэлектронных преобразователей и методов их технологического контроля : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.11.01 Пенз. гос. ун-т
Тематика, ключевые слова:
Автоматика -- Информационно-измерительные системы -- Реле и датчики -- Датчики -- Исследование. Приборы и методы измерения (по видам измерений). тонкопленочные микроэлектронные преобразователи.
Сведения об издании:
Пенза 2004 45 с.
Язык:
rus
|
|