|
Книга ID: 2478115
Методы зондовой диагностики микроструктур: теория, моделирование и обратные задачи : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
Тематика, ключевые слова:
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Эксплуатация -- Техническая диагностика -- Методы технической диагностики -- Оптические методы -- Методы электронной микроскопии.
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах.
РЭм-профилометрия.
Сведения об издании:
Черноголовка 2000
61 с.
Язык:
rus
|
|
