|
Книга ID: 24699
Закономерности формирования, влагосорбционные и оптические свойства оксидных пленок, полученных из тетраэтоксисилана : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Минск 1997 17 с.
Язык:
rus
|
|