|
Книга ID: 2403887
Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме хлорсодержащих газов, взаимодействующей с твердыми неорганическими материалами : диссертация ... доктора химических наук : 02.00.04
Тематика, ключевые слова:
Химические науки -- Физическая химия. Химическая физика -- Химическая кинетика -- Реакции в электрических разрядах -- Плазмохимические реакции.
Микроэлектроника -- Технология изготовления -- Лазерная обработка деталей. Плазменное травление -- Теория, исследования.
Сведения об издании:
Иваново 2005
378 с.
Язык:
rus
|
|
