|
Книга ID: 2377308
Структурные эффекты плазмохимической обработки тонких полимидных пленок и покрытий в технологии устройств микросистемной техники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.01 Рос. гос. технол. ун-т им. К.Э. Циолковского (МАТИ)
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Обработка неметаллических материалов -- Методы исследований.
Материаловедение (по отраслям).
Сведения об издании:
Москва 2004
22 с.
Язык:
rus
|
|
