Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01. Королев, Алексей Николаевич. Таганрог 1998. купить

Регистрация

Вход

Изготовление электронных копий любых изданий

	Автор: Королев, Алексей Николаевич
	Книга ID: 234734 Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01 Тематика, ключевые слова: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника. Сведения об издании: Таганрог 1998 169 с. Язык: rus	Цена не определена. Для уточнения: WhatsApp или [email protected]