Закономерности низкотемпературного химического осаждения нитридных и оксинитридных пленок из газовой фазы : диссертация ... доктора химических наук : 05.27.06. Александров, Сергей Евгеньевич. Санкт-Петербург 1998. купить

Регистрация

Вход

Изготовление электронных копий любых изданий

	Автор: Александров, Сергей Евгеньевич
	Книга ID: 233099 Закономерности низкотемпературного химического осаждения нитридных и оксинитридных пленок из газовой фазы : диссертация ... доктора химических наук : 05.27.06 Тематика, ключевые слова: Технология полупроводников и материалов электронной техники. Сведения об издании: Санкт-Петербург 1998 283 с. Язык: rus	Цена не определена. Для уточнения: WhatsApp или [email protected]