|
Книга ID: 2308860
Основы теории непрерывного технологического контроля параметров нанокомпозитных структур в технологии ионно-плазменных процессов : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 Рос. гос. технол. ун-т им. К. Э. Циолковского (МАТИ)
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология получения -- Нанесение пленочных покрытий -- Технический контроль -- Рентгеновские методы контроля.
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах.
сверхтонкие пленки.
Сведения об издании:
Москва 2003
34 с.
Язык:
rus
|
|
