|
Книга ID: 2303847
Технологические основы производства кремниевых пластин и структур для интегральных схем и детекторов ядерных частиц : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 Моск. гос. ин-т электронной техники
Тематика, ключевые слова:
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
Сведения об издании:
Москва 2002 43 с.
Язык:
rus
|
|