|
Книга ID: 2298069
Основы формально-эвристического проектирования вакуумного оборудования электронной техники : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 Моск. гос. ин-т электроники и математики
Тематика, ключевые слова:
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
Сведения об издании:
Москва 2001 43 с.
Язык:
rus
|
|