|
Книга ID: 2284739
Структурные эффекты плазмохимической обработки тонких полимидных пленок и покрытий в технологии устройств микросистемной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.01
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Обработка неметаллических материалов -- Методы исследований. Материаловедение (по отраслям).
Сведения об издании:
Москва 2004 180 с.
Язык:
rus
|
|