|
Книга ID: 2273905
Основы теории непрерывного технологического контроля параметров нанокомпозитных структур в технологии ионно-плазменных процессов : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология получения -- Нанесение пленочных покрытий -- Технический контроль -- Рентгеновские методы контроля.
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах.
сверхтонкие пленки.
Сведения об издании:
Москва 2003
294 с.
Язык:
rus
|
|
