|
Книга ID: 227376
Восстановление данных послойного ВИМС-анализа сверхтонких структур : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 Ин-т микроэлектроники РАН
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1999 21 с.
Язык:
rus
|
|