|
Книга ID: 2245118
Вода на оксидных поверхностях и ее роль в процессах связывания кремниевых пластин : учеб. пособие С. Н. Новиков, С. П. Тимошенков ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т)
Тематика, ключевые слова:
Химические науки -- Физическая химия. Химическая физика -- Физическая химия поверхностных явлений -- Сорбция. Десорбция -- Адсорбция -- Адсорбция газов и паров -- Учебник для высшей школы.
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Технология нанесения покрытий -- Методы исследований -- Учебник для высшей школы.
многослойные структуры - адсорбция воды на поверхности.
Сведения об издании:
М. МИЭТ 2004 Тип. ИПК МИЭТ
103 с. 28 см
Язык:
rus
|
|
