|
Книга ID: 220051
Ионный имплантер на средние энергии для технологических целей : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.20 Ин-т ядерной физики им. Г. И. Будкера РАН
Тематика, ключевые слова:
Физика пучков заряженных частиц и ускорительная техника.
Сведения об издании:
Новосибирск 1999 10 с.
Язык:
rus
|
|