|
Книга ID: 218962
Совершенствование изоляции и уменьшение токовых утечек в структурах СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 НИИ молекулярной электроники
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1997 21 с.
Язык:
rus
|
|