|
Книга ID: 2189170
Структуры кремния на сапфире: технология, свойства, методы контроля, применение : учеб. пособие Ю. Ф. Козлов, В. В. Зотов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
Тематика, ключевые слова:
Кремний. Интегральные схемы.
Сведения об издании:
М. МИЭТ 2004 139 с. 21 см
Язык:
rus
|
|