|
Книга ID: 218441
Исследование методом эллипсометрии диэлектрических и полупроводниковых структур микроэлектроники : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 01.04.10
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Москва 1998 65 с. 20х15 см
Язык:
rus
|
|