|
Книга ID: 1991196
Исследование реактивного ионного травления как метода создания элементов оптоэлектронных устройств : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Санкт-Петербург 1993 179 с.
Язык:
rus
|
|