|
Книга ID: 1989595
Исследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06
Тематика, ключевые слова:
Технология полупроводников и материалов электронной техники.
Сведения об издании:
Одесса 1992 325 с.
Язык:
rus
|
|