|
Книга ID: 192632
Атомные ступени на поверхности кремния в процессах сублимации, эпитаксии и фазовых переходов : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Новосибирск 1996 412 с.
Язык:
rus
|
|