|
Книга ID: 191033
Методологические основы контроля линейных размеров субмикронного диапазона методами оптической и растровой электронной микроскопии в технологии изготовления СВЧ-транзисторов : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1993 310 с.
Язык:
rus
|
|