|
Книга ID: 186675
Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.12.21
Тематика, ключевые слова:
Радиотехнические системы специального назначения, включая технику СВЧ и технологию их производства.
Сведения об издании:
Казань 1998 132 с.
Язык:
rus
|
|