|
Книга ID: 179184
Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники. : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07
Тематика, ключевые слова:
Оборудование производства электронной техники. полупроводники.
Сведения об издании:
Москва 1997 131 с.
Язык:
rus
|
|