|
Книга ID: 177799
Модификация структуры и свойств аморфного кремния при ионной имплантации и отжиге : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Нижний Новгород 1997 128 с.
Язык:
rus
|
|