|
Книга ID: 176649
Стабилизация структурно-примесных и электрофизических свойств системы Si-SiO 42 0 в производстве кремниевых микросхем : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1994 417 с.
Язык:
rus
|
|