|
Книга ID: 174860
Влияние термообработок в водороде на эволюцию примесно-дефектной подсистемы кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков. кремний.
Сведения об издании:
Москва 1995 117 с.
Язык:
rus
|
|