Гетерогенные реакции в процессах травления материалов микроэлектроники Si, Ge и SiO2 : автореферат дис. ... доктора химических наук : 02.00.04 АН СССР. Ин-т неорган. химии. Бакланов, Михаил Родионович. Новосибирск 1991. купить

Регистрация

Вход

Изготовление электронных копий любых изданий

	Автор: Бакланов, Михаил Родионович
	Книга ID: 17256 Гетерогенные реакции в процессах травления материалов микроэлектроники Si, Ge и SiO2 : автореферат дис. ... доктора химических наук : 02.00.04 АН СССР. Ин-т неорган. химии Тематика, ключевые слова: Физическая химия. Сведения об издании: Новосибирск 1991 47 с. Язык: rus	Цена не определена. Для уточнения: WhatsApp или [email protected]