|
Книга ID: 169054
Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника. структуры СБИС.
Сведения об издании:
Ярославль 1995 315 с.
Язык:
rus
|
|