|
Книга ID: 168290
Оптимизация технологического оборудования и процесса газофазной эпитаксии кремния производства СБИС : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.07
Тематика, ключевые слова:
Оборудование производства электронной техники. газофазная эпитаксия кремния.
Сведения об издании:
Москва 1996 421 с.
Язык:
rus
|
|