|
Книга ID: 167845
Исследование и разработка системы диагностики элементов вакуумного оборудования : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07
Тематика, ключевые слова:
Оборудование производства электронной техники. вакуумное оборудование.
Сведения об издании:
Москва 1997 173 с.
Язык:
rus
|
|