|
Книга ID: 1669505
Основы субмикронной технологии : Учеб. пособие / В. А. Жабрев, В. И. Марголин, В. А. Мошников ; М-во образования РФ. С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ"
Тематика, ключевые слова:
Радиотехника -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Большие и сверхбольшие интегральные схемы -- Технология призводства -- Технология нанесения пленочных покрытий -- Учебник для высшей школы.
контроль производства интегральных схем.
метрология в производстве интегральных схем.
Сведения об издании:
СПб. : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2001
115 с. : 21 см.
Язык:
rus
|
|
