|
Книга ID: 1657759
Характеристики потока BRE-плазмы низкого давления при обработке поверхности твердого тела М. Ф. Шаехов, Ф. М. Гайсин
Тематика, ключевые слова:
Плазма (физ.) высокочастотная - взаимодействие с поверхностью твердого тела.
Сведения об издании:
Казань КГТУ 1998 26 с. 20 см
Язык:
rus
|
|