|
Книга ID: 164575
Вторично-ионная спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Ярославль 1995 151 с.
Язык:
rus
|
|