|
Книга ID: 164555
Выращивание легированных бором нитевидных кристаллов кремния для чувствительных элементов сенсоров : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Тематика, ключевые слова:
Технология полупроводников и материалов электронной техники.
Сведения об издании:
Воронеж 1994 190 с.
Язык:
rus
|
|