|
Книга ID: 163269
Совершенствование изоляции и уменьшение токовых утечек в структурах СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника. структуры СБИС.
Сведения об издании:
Москва 1997 124 с.
Язык:
rus
|
|