|
Книга ID: 163177
Микроструктурная неоднородность и термическая стабильность пленок a-Si: H и сплавов на его основе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Тематика, ключевые слова:
Технология полупроводников и материалов электронной техники. термическая стабильность материалов.
Сведения об издании:
Москва 1997 191 с.
Язык:
rus
|
|