|
Книга ID: 163072
Влияние циркония на важнейшие структурные и электрофизические характеристики полупроводникового кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Тематика, ключевые слова:
Технология полупроводников и материалов электронной техники. влияние циркония; важнейшие структурные характеристики; полупроводниковый кремний.
Сведения об издании:
Москва 1996 240 с.
Язык:
rus
|
|