|
Книга ID: 160933
Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим р-п-переходам кремниевых ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника. омические контакты. кремниевые ИС.
Сведения об издании:
Москва 1996 129 с.
Язык:
rus
|
|