|
Книга ID: 160670
Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков. свойства карбида кремния.
Сведения об издании:
Москва 1996 209 с.
Язык:
rus
|
|