|
Книга ID: 160381
Исследование и разработка технологии коллоидно-химического полирования поверхности арсенида галлия : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Тематика, ключевые слова:
Технология полупроводников и материалов электронной техники. полирование.
Сведения об издании:
Москва 1997 178 с.
Язык:
rus
|
|