|
Книга ID: 1603452
Техника распыления ионными пучками А. П. Семенов; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Бурят. науч. центр, Ин-т естеств. наук
Тематика, ключевые слова:
Пленки тонкие - Получение. Ионные источники.
Сведения об издании:
Улан-Удэ БНЦ СО РАН 1996 118,[2] с. 20 см
Язык:
rus
|
|